TEL
+ 86-21-6420 0566
Введение продукта:
Название: Трифторид азота
Химическая формула: NF3
Характеристики упаковки: 44 л, 17 л
Чистота (%): 99.99%
Точка плавления: -206.8 ° C
Температура кипения: -129 ° C
Критическая температура: -39.3°C
Критическое давление: 4.46 МПа
Трифторид азота — бесцветный, не имеющий запаха, стабильный газ при комнатной температуре и сильный окислитель. Трифторид азота — превосходный газ для плазменного травления в микроэлектронной промышленности. Он разлагается на активные фторид-ионы во время ионного травления. Эти фторид-ионы обладают превосходной скоростью травления и селективностью (к оксиду кремния и кремнию) для соединений кремния и вольфрама. При травлении он не оставляет никаких остатков на поверхности протравленного объекта. Это очень хорошее чистящее средство, широко используемое в производстве микросхем и высокоэнергетических лазеров.
Технические характеристики:
| Название проекта | Индекс чистоты (%) | Используйте | ||
| Трифторид азота | ≥99.99 | NF3 является отличным газом для плазменного травления в микроэлектронной промышленности. Для травления кремния и нитрида кремния смешанный газ NF3 и CF4 + O2 имеет более высокую скорость травления и селективность, а также не загрязняет поверхность. | ||
| Содержание примесей (ppm) | N2 | ≤5 | ||
| O2 + Ar | ≤3 | |||
| CO2 | ≤5 | |||
| CO | ≤1 | |||
| CF4 | ≤40 | |||
| H2O | ≤1 | |||
| SF6 | ≤5 | |||
| HF | ≤1 | |||
| N2O | ≤5 | |||
Фабрика и отгрузка
