TEL
+ 86-21-6420 0566
Введение продукта:
Китайское название: Тетрафторид углерода
Иностранное название: Тетрафторид углерода R14
Другое название: Тетрафторметан, Перфторметан
Химическая формула: CF4
Упаковка: 8л/10л/40л/47л
Чистота: 3N/4N/5N
Регистрационный номер CAS: 75-73-0.
Регистрационный номер EINECS: 200-896-5.
Температура плавления: -184 ℃
Температура кипения: -130 ℃
Растворимость в воде: Нерастворимый
Внешний вид: бесцветный газ
Тетрафторид углерода в основном используется в процессах плазменного травления различных интегральных схем, а также в качестве лазерного газа, низкотемпературного хладагента, растворителя, смазки, изоляционного материала и охлаждающей жидкости для инфракрасных детекторных трубок.
Технические характеристики:
| % Чистоты | 99.9 | 99.999 |
| Oxygen | ≤100ppmv | ≤1.0ppmv |
| Азот | ≤400ppmv | ≤4.0ppmv |
| Углекислый газ | ≤80ppmv | ≤0.5ppmv |
| Монооксид углерода | ≤50ppmv | ≤0.5ppmv |
| Метан | ≤50ppmv | ≤0.5ppmv |
| Газовые углеводороды | ≤100ppmv | ≤2.0ppmv |
| Вода | ≤10ppmv | ≤2.0ppmv |
| Гексафторид серы | ≤15ppmv | ≤1.0ppmv |
| Кислотность как HF | ≤1.0ppmv | ≤0.1ppmv |
Фабрика и отгрузка
